更小,更快,更薄
MicronX系统是专门为灵活应用设计的强有力的测量工具。使用Thermo独创的， 技术先进的硬件和软件， MicronX系统能够比其它EDXRF仪器测量更小的面积， 更薄的镀层并且更快。 MicronX系统能够接受最多的金属薄膜测量的挑战。
X-射线能谱技术方面几十年的经验带来了微束X-射线荧光的几点创新：
● 激发光束的光学准直器可以获得一束特别明亮的的微束X-射线照在样品表面
● 灵活和精密的样品定位
● 最新的X-射线检测技术
● 综合， 易用的操作界面和应用软件
X-射线束准直
光学准直
这一革命性的技术发出小至 20微米， 强度和精度为传统仪器的1000倍。 强度的增加可以减少测量时间—比机械准直快100倍并且精度提高10倍。 光学准直对微束应用是极为重要的， 因为高精度和快速对它是基本的。
精密样品定位
伺服驱动的样品台
为了高精度的样品定位，MicronX系统采用线性编码伺服驱动的X-Y-Z样品台。 定位精度可以达到+/-5或+/-2微米。
硅片样品台有适合于125 mm至300 mm大小硅片的许多插板选购件， 样品台的行程能达到300 mm硅片的任何一点。
专利的真空环境
Thermo专利的真空导管技术包括X-射线束发生和检测系统， 而样品在空气中。 这种独有的设计创造了一种和样品室全部抽真空可以比拟的分辨率和灵敏度， 而且样品操作快速， 方便。