选件 多种划痕针头选择 纳米或微米硬度测量模块 真空、湿度与温度控制 集成原子力显微镜或共焦显微镜三维成像 纳米划痕测试仪(10uN - 1N) 瑞士CSM的纳米划痕仪主要用于界定膜基结合强度与薄膜抗划痕强度，适用的薄膜厚度一般低于800纳米。纳米划痕仪可以用于多种薄膜材料的检测分析，例如单层或多层PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性涂层等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物、以及有机材料等。