SC7620溅射镀膜仪
英国Quorum/Emitech的SC7620是一台结构紧凑、价格低廉的磁控离子溅射镀膜仪。如与镀碳附件(CA7625F)结合使用,为理想的低价位扫描电镜溅射、镀碳系统。SC7620耐用、易操作且质保期3年。
SC7620适合预算有限、需要高质量镀膜、仪器易操作的用户。对于常规应用, SC7620具有φ100㎜(4″)的玻璃腔室,使用磁控溅射头,带有易更换的圆片靶(标配为金/钯合金)。溅射头为方便的铰链式,并具有电安全互锁装置。高压电缆带有屏蔽功能,以预防意外损坏。通过氩气针阀调整真空度,以改变等离子电流;气体注入系统可预设等离子放电。
必备:推荐使用50 l/m 双级旋转机械泵(E5005F),随机配有油雾过滤器。如果想使用已有的旋转机械泵,确保它的容量为50 l/m 或更优是非常重要的。
可选附件 - 镀碳仪
SC7620可选配(CA7625F)镀碳装置,包括蒸发电源和碳丝头。镀碳附件很容易安装。用碳丝头替换铰链式连接的溅射头即可。为确保暴露在外的溅射头不被供电,安装了机电互锁装置,以确保溅射头断电。
选择靶
金/钯合金作为标配。与金相比,颗粒更细。
金:通常为首选。
铂:溅射颗粒尺寸比金和金/钯合金还要细小。溅射速率减慢,价格比金和金/钯合金昂贵一些。
银:与其它金属比较,银镀层容易取下,较适用于博物馆和法院的样品镀膜。
钯:用于X-射线微量分析时,常用来取代金、金/钯和铂。