用于沉积金属薄膜,氧化物薄膜,多元素材料薄膜的脉冲激光沉积系统,可以与 多种薄膜制备设备连用。凭借多年的科研与实践经验,我公司为许多科研用户独立 打造了PLD-MBE连用系统,PLD-UHV Suptter连用系统等。 应用: ZnO材料功能薄膜 STO薄膜 超导薄膜 铁电功能薄膜 功能陶瓷膜