产品介绍:
1.可轻松的完成以往难以测定的高侧面比深槽的样品的测定
搭载本公司独自开发SIS模式、可以实现对以前很难测定的，开口很小的(50nm以下)样品和测面比高的样品等深槽和狭小槽的测定。如运用SIS模式和纳米碳管探针，其威力更是倍增。
闭环扫描器，彻底消除由滞后及蠕变现象造成的成像失真现象、大大提高了微区测量·微区加工的精度。做为标准配置，L-trace搭载了这种环状扫描器。做为选项配置，闭环扫描器也可用于其它的机种。
2.搭载测定导向功能，大大提高了操作的简便性
搭载探针自动切换功能，降低由于误操作而引起的探针损坏机率，提高操作效率。
精工纳米电子科技公司独自开发的操作导向系统，从设备准备到数据的保存印刷，准确地指导操作者完成各项操作。即使第一次上机操作，也可以轻松得进行测定。
3.丰富的自动测定功能
依据菜单测定功能，可以实现扫描范围内的多点自动测定。
常规的测定、重复的测定条件、繁琐的测定等，从颜色的调整到绘图的处理、解析、印刷都可简单得自动处理。
优化的解析系统软件，特别是对要求高速多功能同时测定解析的画像，搭载了新的重叠解析功能和表示设定功能、使多彩的功能性及简易操作性得以完美的结合。