具有更高的纳米级力学分辨率,通过压痕测试可有效的对各种镀层、薄膜、超薄膜、有机高分子膜、生物膜等、多层复合膜、DLC膜、润滑膜、多相参杂材料、半导体材料、MEMS、生物材料及相关工业产品力学特性的研究与评价;测量材料硬度、刚度、弹性模量、断裂刚度、失效点、应力-应变、蠕变等力学数据;扩展纳米压痕、显微压痕、纳米划痕、显微划痕及三维成像功能;