在超临界流体技术中，超临界水氧化是最具挑战性之一的应用。要达到水的超临界状态，需要超过400oC的高温及适合的高压。之外，由于在氧化过程中产生化学反应性很高的物质，釜体内衬和管道系统需要特殊的材质以解决防腐问题。