产品介绍
全自动控制操作模式，操作方便，检漏腔关闭，仪器自动开始检漏；
速度快，可根据检漏要求调整节拍速度,自动打开腔门；
人性化设计，带液晶显示、检漏结果清晰、可带微打；
关键部件采用进口，性能稳定、可靠。
最小可检漏率： 5×10-12/8×10-13/2×10-11Pa·m3/s
漏率显示范围： 1×10ˉ3～1×10ˉ12/1×10ˉ3～1×10ˉ13/1×10ˉ4～1×10ˉ11Pa·m3/s
启动时间： ≤5min/2min/5min
响应时间： ≤2s/1s/2s
检漏口最高压力： 1000Pa/2000Pa/300Pa
极限真空： 5×10-4Pa
外形尺寸： 700(W)×580(D)×800(H)
SFJ-251系列氦质谱检漏仪是我公司借鉴国外先进检漏技术和多年质谱生产经验设计而成的专门用于电子元器件检漏的仪器，包括SFJ-251，SFJ-251B，SFJ-251C三种型号，该系列产品外观一致，采用人性化设计，操作简单、方便。将被广泛的用于集成电路、半导体、电子元器件、继电器、晶体谐振器、真空元器件等行业。
配置（SFJ-251/251C）：
进口复合型分子泵
莱宝机械泵
进口电磁阀
进口放大器
配标准漏孔
液晶显示
配置（SFJ-251B）：
采用INFICON成套质谱模块
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