产品介绍
等离子清洗机VP-R5产品简介
等离子清洗机VP-R5频率13.56MHz，能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率运行30分钟，腔体温度不高于32℃，不损伤样品，适用于微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
等离子清洗机VP-R5产品特性
1.BetterReliability，Better Operation
内置两路通入气体，无需再搭配气体混合仪
操作软件、操作简易，智能化设计，避免误操作
采用数字显示压力，实时观察腔体压力变化情况
触摸屏自动化操作，人机界面友好
清洗结束，自动泄压
泄压时长和大小可调，可通入氮气泄压
功率高、中、低三挡可调
2.对标国际一线品牌，填补国内技术空白
柔性电极输出13.56MHz频率用于等离子清洗
性能比肩国际一线品牌，在控制自动化，人性化设计方面国际前列
腔体低温，运行时腔体温度小于32°C
13.56MHz物理作用和化学作用俱佳
等离子体从腔体向四周发出，对样品整个表面处理更彻底
VP-R5与国际一线品牌薄膜、玻璃基片和石墨烯等离子处理比对情况
3.质量可靠，细节决定
石英材质腔体，保证腔体更加洁净，更适合清洁度高材料
国内真空泵，保证腔体真空度稳定，等离子清洗强度更强
306不锈钢卡扣，比普通铝制卡扣更耐用，接口气密性更好
1.5米不锈钢波纹管，比橡胶更耐用，密封性更好
高硼硅圆形托盘，避免样品二次污染
4.经典清洗案例分析
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末杂质和油质增加石墨烯表面亲水基团（-OH）提高亲水性
金属工件油污等离子清洗，不损伤样品，去除表面油污
PDMS等离子清洗，改变表面性质，提高粘接能力
橡胶亲水性处理
薄膜等离子处理
等离子清洗机VP-R5技术规格
型号 ：VP-R5
腔体材质：石英玻璃
腔体容量：5L
内腔尺寸：Φ150*270Lmm
功率：160W
射频频率：13.56MHz
RF放射：无
频率偏移量：小于0.2KHz
等离子体轰击：从四周向中间
腔体温度：满功率运行30分钟腔体温度＜32℃
清洗时间：0-1800s可调
功率调节：高、中、低三挡
显示屏：4.3寸触摸屏
操作控制：提供中英文操作界面，触摸屏控制（设置清洗时间）
气体流量计：高精密2路浮子流量计
提供进气气路：两路进气，流量0-300ml/min可调（常用气体：氩气，氧气，氮气，氢气，氨气等其他混合气体）
进气管：两根6x4PU管，尾端配6转6快拧接头
泄压：等离子处理结束，自动泄压，泄压时长和速度可调。可提供氮气或其他气体泄压通道（选配）
真空泵极限真空度：5x10﹣2Pa
抽速：8m3/h
噪音：≤56dB
抽真空时间：启动到发出辉光≤35秒（时间可调）
真空检测：数字显示
冷却方式：风冷
腔体门：传感器识别开/关，带可视窗高强度铝合金
真空泵控制：主机与真空泵自动联动并可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭
供电电源：AC220V/50Hz
箱体平衡：减震橡胶脚杯
外形尺寸(LxWxH)：560*450*360mm
等离子清洗机VP-R5订购信息
标准配置 ：主机、真空泵、1.5米波纹管、清洗托盘、电源线、说明书、合格证、保修卡、提供一路进气管
选配件：1、微量控气阀（清洗粉末适用）2、高硼硅圆形托盘 3、安捷伦干式真空泵，防止油气挥发（高洁净实验室适用）
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