产品介绍
ETD-800 型全自动等离子溅射仪外观亮丽做工精致，机箱大小仅有310mm x 260mm x 115mm。
ETD-800小型离子溅射仪是专门为扫描电子显微镜用户设计的全自动镀膜设备；操作简便，放入样品后可一键搞定；数字式计数器满足精准定时要求，特别适用对膜颗粒大小要求高的场发射扫描电子显微镜；膜厚均匀稳定；
配有高位定性的飞跃真空泵
ETD-800 type full automatic plasma sputtering instrument Beautiful appearance and exquisite workmanship.
ETD-800 small ion sputtering instrument is special The automatic coating equipment designed for users of scanning electron microscope (SEM) is designed. It is easy to operate, and can be done by one key after the sample is put into the sample. The digital counter meets the requirement of precise timing, especially the field emission scanning electron microscope which requires high size of the membrane particles; the film thickness is uniform and stable.
High qualitative jump vacuum pump
| 配套泵 | 溅射靶材 | 溅射电流 | 溅射速率 | 样品仓尺寸 | 样品台尺寸 | 工作电压 |
一升飞跃泵
| 标配靶材为金靶，厚度为50mm*0.1mm。也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。 | 最大电流 50mA,工作电流20mA | 优于40nm/min | 直径 103mm， 高100mm | 样品台尺寸直径50mm | 220V (可做110V), 50HZ |
需要镀膜的样品
| 电子束敏感的样品 | 非导电的样品 | 新材料 |
| 主要包括生物样品，塑料样品等。S EM中的电子束具有较高能量，在与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料，那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用，防止此类损伤； | 由于样品不导电，其表面带有“电子陷阱”，这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应，可在样品表面镀一层金属导电层，镀层作为一个导电通道，将充电电子从材料表面转移走，消除荷电效应。在扫描电镜成像时，溅射材料增加信噪比，从而获得更好的成像质量。 | 非导电材料实验电极制作观察导电特性 |
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