产品介绍
Horiba 质量流量计SEC-E40
扩散炉专用，小氮
畅销型号: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.
可选高精度数字式：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J，
Horiba 质量流量计SEC-E40被广泛的应用于半导体、太阳能、实验室、环境监测仪中。尤其在扩散炉中得到了广大客户的支持。
Horiba 质量流量计SEC-E40及其拓展型号适用于从微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。
另提供扩散炉专用
流量计大氮SEC-E50，N2，20SLPM；
流量计 硅烷 SEC-E40，SiH4，5SLPM；
流量计 氨气 SEC-E440J，NH3,7SLPM 或 500SCCM；
恒温水槽 Yamato BV100S;
循环泵 CP08-PPRE-10；
程序板 VS4 等。
技术规格
型号 | SEC- (质量流量控制器) | SEC-E40、SEC-E40MK3 | SEC-E50、SEC-E50MK3 |
SEF- (质量流量计) | SEF-E40 | E50 |
适用气体种类*1 | 非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He) |
气体接触部材质 | SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢 |
阀门型号 | 非通电时 关闭 |
标准流量量程 (N2相应F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM |
流量控制范围
(适于SEC系列) | 2?100% F.S. |
流量测量范围
(适于SEF系列) | 0?100% F.S. |
响应速度 | 1秒以内(T98) |
流量精度 | ±1% F.S. |
直线性 | ±0.5% F.S. |
反复性 | ±0.2% F.S. |
工作差压值值
(适于SEC系列) | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) |
使用压力
(适于SEF系列) | 300kPa(G)以下 |
耐 压 | 1MPa(G)以下 |
外部泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 |
使用环境温度 | 5?50℃(精度的确保：15?35℃) |
流量设定信号 | 0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S. |
流量输出信号 | 0?5VDC(最小负荷电阻2kΩ) |
驱动电源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA |
标准接头*2 | 1/4SWL 类型 |
*1:关于记载以外的气体种类，请另行咨询协商。
*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：最大值300kPa(G)；SEC-70/80：最大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号。
本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器
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