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产品介绍

OLYMPUS 3D测量激光共聚焦显微镜OLS5000

OLYMPUS 3D测量激光共聚焦显微镜OLS5000有着更真实的三维形貌反映能力，具有操作更便捷、更快速的优势。OLS5000采用计算机直观控制，搭载的扫描算法，可通过计算机的处理转换，快速获得完整带有高度信息的样品表面图像，并通过对样品不同层面的扫描和计算机处理。在使用时，只要在放置样品后按动按钮，设备就会自动进行工作，无需进行复杂的设置调整，即使是不熟练的用户也可获准确的检测结果，简化工作流程。 　　

一直以来，奥林巴斯致力于满足各领域用户的多样需求，不断引领行业发展趋势，通过不断研发新产品，顺应市场变化，在工业显微镜领域始终保持着技术优势。3D测量激光显微镜在全球已经是一种被广泛采用的技术。　　

随着物联网、云科技、新能源汽车的发展需求，中国半导体产业飞速发展。针对这一趋势，奥林巴斯陆续推出BX系列、STM系列、MX系列产品，与这次发布会的激光显微镜构成了针对半导体前后道检测市场的较为完善的产品线。OLS5000目标市场从研发、质检为主的研究级扩展到涵盖生产线的制造级市场。从行业应用方向来说，半导体/电子、机械重工设备、石油质地都是该产品目标市场。同时，新产品在汽车行业还会有更多突破。

激光共聚焦扫描显微镜的发展在国外是从80年代末期开始的，目前在日本，已经是一种被广泛采用的技术，既用来观察样品表面亚μm程度(0.2μm)的三维形态和形貌，又可以测量多种微小的尺寸，诸如体积、面积、晶粒、膜厚、深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等。

OLYMPUS 3D测量激光共聚焦显微镜OLS5000配备的两套光学系统（彩色成像光学系统和激光共焦光学系统）让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。

OLYMPUS 3D测量激光共聚焦显微镜OLS5000可以精确地测量亚微米级的表面形状和粗糙度。图像采集速度比我们之前的型号OLS4100快四倍，大大提高了效率。

[获取彩色信息] 
彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息。

[获取 3D 高度信息和高分辨率共焦图像]
激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。

[405纳米激光光源]

光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光（峰值550纳米）的传统显微镜具有更优的横向分辨率。 OLS5000显微镜利用405纳米短波长激光二极管获得卓越的横向分辨率。

[激光共焦光学系统]

激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线，并非采集从样品上反射和散射的所有光线。这样有助于消除模糊，让其能够获得比普通显微镜对比度更高的图像。

[X-Y扫描仪]
OLS5000显微镜配有奥林巴斯光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结合，能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置，因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的卓越X-Y扫描。

[高度测量原理]

在测量高度时，显微镜通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像。
根据非连续的焦点位置（Z）和检测光强度（I）可以估算每个像素的光强变化曲线（I-Z曲线），并获得其峰值位置和峰值强度。由于所有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相对应，因此可以获得样品表面的3D形状信息。与此类似，通过峰值强度数据可以获得针对样品表面所有位置焦点的图像（扩展图像）。