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济宁洁净净化之集成电路无尘车间施工
集成电路无尘车间为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该洁净室对环境洁净度,温湿度,振动,ESD,AMC控制等有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造洁净室有面积大,洁净等级高,温湿度控制精度高等特点。
济宁洁净净化之集成电路无尘车间施工
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
第一种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。
第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为最主要的净化设计方案。
济宁洁净净化之集成电路无尘车间施工
洁净净化技术是设计与施工的专业技术企业,提供净化工程、无尘车间、超净车间、洁净工程、风淋室、无尘厂房、无菌厂房、医院洁净手术室、光电净化厂房等高新技术企业10万-10级空气净化系统工程设计、制造、安装、调试、检测综合性成套服务。
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