产品介绍
球面标准镜头
乾曜光学提供普通精度的球面标准镜和超精密球面标准镜，有效口径有150mm（6英寸），100mm （4英寸）， 60mm，30mm。150mm和100mm口径镜头与Zygo通用，60mm和30mm口径镜头与富士通用。
超精密球面标准镜为代理国外产品，精度达PV<λ/40（λ=632.8nm）。精度测试文件储存为Zygo干涉仪的标准数 据格式，在Zygo干涉仪的数据中能够移除标准球面的误差，以达到绝对测量。
普通精度球面标准镜技术参数:
型号 | 有效口径 | 材料 | 精度 （λ=633nm） |
QY-150-Fxx | 152.4mm(or 6 inches) | 熔石英 (Corning 7980) | PV<λ/10 |
QY-100-Fxx | 101.6 mm(or 4 inches) | 熔石英 (Corning 7980) | PV<λ/10 和 PV<λ/20 |
QY-60-Fxx | 60mm | 熔石英 (Corning 7980) | PV<λ/20 |
QY-30-Fxx | 30mm | 熔石英 (Corning 7980) | PV<λ/20 |
QY-25-Fxx | 25.4 mm(or 1 inches) | 熔石英 (Corning 7980) | PV<λ/20 |
球面标准镜头规格表
适用干涉仪 | F数 | 标准面曲率半径（mm） | 曲率半径测量范围（mm） | 最大测量口径（mm） |
凸 | 凹 | 凸 | 凹 |
G150 | QY-150-F0.8 | 80 | 8~80 | 8~ | 100 | 卧式干涉仪凹面测量受隔振平台尺寸的限制。 |
QY-150-F1.1 | 123.3 | 12~123.3 | 12~ | 112 |
QY-150-F1.5 | 187 | 19~187 | 19~ | 125 |
QY-150-F2.2 | 303 | 30~303 | 30~ | 137 |
QY-150-F3.3 | 470 | 47~470 | 47~ | 142 |
QY-150-F5.5 | 808 | 81~808 | 81~ | 145 |
QY-150-F7.3 | 1075 | 108~1075 | 108~ | 145 |
QY-150-F11 | 1656 | 166~1656 | 166~ | 146 |
QY-150-F15 | 2271 | 227~2271 | 227~ | 146 |
QY-150-F25 | 3783 | 378~3783 | — | 146 |
QY-150-F30 | 4560 | 456~4557 | — | 146 |
QY-150-F45 | 6814 | 681~6814 | — | 146 |
G150D | QY-150-F0.8 | 80 | 8~75 | 8~480(624) | 93 | 200 (240) |
QY-150-F1.1 | 123.3 | 12~118.3 | 12~660(858) | 107 | 200 (240) |
QY-150-F1.5 | 187 | 19~182 | 19~900(1080) | 121 | 200 (240) |
QY-150-F2.2 | 303 | 30~300 | 31~1097 | 136 | 200 (240) |
QY-150-F3.3 | 470 | 47~467 | 47~930 | 141 | 200 (240) |
QY-150-F5.5 | 808 | 81~805 | 81~592 | 143 | 101 |
QY-150-F7.3 | 1075 | 108~1072 | 108~325 | 146 | 44 |
QY-150-F11 | 1656 | 256~1653 | — | 146 | — |
QY-150-F15 | 2271 | 871~2268 | — | 146 | — |
QY-150-F25 | 3783 | 2383~3780 | — | 146 | — |
QY-150-F30 | 4560 | 3160~4557 | — | 146 | — |
QY-150-F45 | 6814 | 5414~6811 | — | 146 | — |
G100 | QY-100-F0.65 | 38 | 4~38 | 4~ | 58 | 卧式干涉仪凹面测量受隔振平台尺寸的限制。 |
QY-100-F0.75 | 45 | 5~45 | 5~ | 60 |
QY-100-F1.0 | 65 | 7~65 | 7~ | 64 |
QY-100-F1.5 | 121 | 12~121 | 12~ | 76 |
QY-100-F2.2 | 191 | 19~191 | 19~ | 80 |
QY-100-F3.3 | 298 | 30~298 | 30~ | 85 |
QY-100-F5.0 | 490 | 49~490 | 49~ | 97 |
QY-100-F7.1 | 682 | 68~682 | 68~ | 95 |
QY-100-F10.7 | 1039 | 104~1039 | 104~ | 96 |
QY-100-F15 | 1515 | 151~1515 | 151~ | 99 |
QY-100-F25 | 2500 | 250~2500 | 250~ | 99 |
QY-100-F45 | 4500 | 450~4500 | — | 99 |
QY-100-F10D | 1025 | — | 1025~ | — |
QY-100-F15D | 1500 | — | 1500~ | — |
QY-100-F25D | 2500 | — | 2500~ | — |
QY-100-F45D | 4500 | — | 4500~ | — |
适用干涉仪 | F数 | 标准面曲率半径（mm） | 曲率半径测量范围（mm） | 最大测量口径（mm） |
凸 | 凹 | 凸 | 凹 |
G100D | QY-100-F0.65 | 38 | 4~33 | 0~292(468) | 50 | 150 (240) |
QY-100-F0.75 | 45 | 5~40 | 0~337(540) | 53 | 150 (240) |
QY-100-F1.0 | 65 | 7~60 | 0~450(720) | 60 | 150 (240) |
QY-100-F1.5 | 121 | 12~116 | 0~675(1080) | 77 | 150 (240) |
QY-100-F2.2 | 191 | 19~188 | 0~990(1209) | 85 | 150 (240) |
QY-100-F3.3 | 298 | 30~295 | 1102 | 89 | 150 (240) |
QY-100-F5.0 | 490 | 49~487 | 0~910 | 97 | 150 (182) |
QY-100-F7.1 | 682 | 68~679 | 0~718 | 95 | 100 |
QY-100-F10.7 | 1039 | 104~1036 | 0~360 | 96 | 33 |
QY-100-F15 | 1515 | 152~1512 | — | 99 | — |
QY-100-F25 | 2500 | 1100~2497 | — | 99 | — |
QY-100-F45 | 4500 | 3100~4497 | — | 99 | — |
QY-100-F10D | 1025 | — | 1028~2425 | — | 150 (240) |
QY-100-F15D | 1500 | — | 1503—2900 | — | 150 (196) |
QY-100-F25D | 2500 | — | 2503—3900 | — | 150 (157) |
QY-100-F45D | 4500 | — | 4503—5900 | — | 130 |
注：
1、 QY-150-XX系列镜头适用于G150系列干涉仪；QY-100-XX系列镜头适用于G100系列干涉仪；QY-60-XX系列镜头适用于G60系列干涉仪；QY-30-XX系列镜头适用于G30系列干涉仪。
2、测量凸面最大曲率指与镜头标准面贴合时的被测曲率。
3、表中（）内数据为使用特殊夹具时,对应G150D,G100D,G60D和G30D时的数据。
4、可检查最小口径以及最小曲率半径根据被检物的形状而异。
来宝会员