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1

空气净化出口空气

CO₂ 0～10ppm

2

H2O 0～100ppm

3

再生污氮水含量

H2O 0～100ppm

4

进冷箱增压空气中水含量

H2O 0～100ppm

5

下塔液空氧含量

O₂ 40～80%

6

上塔污氮氧含量

O₂ 0～25%

7

产品氧含量

O₂ 98～100%

8

纯氮中微量氧

O₂ 0～10ppm

9

液氧中总碳氢含量

CnHm 0～500ppm

10

液氧中碳氢各组分

CH₄、C₂H₂、C₂H₄、C₂H₆、C₃H₆、

C₃H₈、C₄+，CnHm

11

液氧中杂质

CO、CO₂、N₂O、Ar、N₂、H₂

12

氩馏分中氩含量

Ar 0～20%

13

粗氩塔1出口氧含量

O₂ 0～25%

14

粗氩塔1出口氩含量

Ar 80～100%

15

粗氩塔2中微量氧含量

O₂ 0～10ppm

16

精氩中杂质含量

（CO、CH₄、N₂、O₂、H₂ ）0～100ppm

17

精氩中微量氮含量

N₂  0～10ppm