来宝网移动站

型号

Vertex251

Vertex12x12

XY 精度

Uxy=2.0+L/250

Uxy=2.6+L/175

Z 精度

Ux=2.5+L/150

Ux=3.0+L/150

XY 重现性

2.0μm

2.5μm

Z 重现性

2.0μm

2.0μm

XY 加速度

500mm/S2

Z 加速度

200mm/S2

XY 移动速度

250mm/s

Z 移动速度

100mm/s

光学尺分辨率

1.0μm, 0.5μm, 0.1μm

量测行程

200x150x150mm

300x300x150mm

外形尺寸

760x635x965mm

1090x865x990mm

重量

60kg

125kg

承载重量

7.5kg

12kg

基座材质

铝合金(花岗岩选购l)

传动方式

Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z

电控系统

伺服系统: CNC, 鼠标, 摇杆

光学系统 &放大倍率

12:1 光学 Zoom, 17-410x 或 6.5:1光学 Zoom, 20-250x

影像 & 光源

红光LED (黑白系统)或白光 LED(彩色系统)

软件

InSpec for Windows Metrology Software

工作环境

20℃±2°,30-80% 湿度