产品介绍
ZZS-800箱式镀膜机基本配置
一、 真空室尺寸:Ф 800×900mm
二、 极限真空度:3×10-4Pa
三、 恢复真空度:4×10-3 Pa<15min
四、 真空系统配置:K-630+2X-70
五、 工件夹具:1、直径Ф730;2、转速:3-30rpm
六、 真空测量系统:三路数字复合真空计
七、 烘烤方式:上烘烤或下烘烤,最高温度350度。
八、 蒸发源:1、电阻蒸发源两只,每只4.5Kw(8V、600A);2、E型电子束蒸发源一支(是否选配两只电子枪,同时选用国产电子枪还是进口电子枪)
九、 光学膜厚监控系统: 光学膜厚控制系统,波长范围350-850nm(可选配350-2000nm),膜厚控制仪GMHK9704光学膜厚监控仪,自动对位比较片;单色仪:WDG-30光栅单色仪;光路系统:9度倾斜透射/反射光路,光纤耦合输出。
十、 充气系统:自动压强控制仪,自动2-5X10-4Pa
十一、 其他选配项:Maxtek石英晶体膜厚控制仪MDC-360C
十二、 压缩空气:0.4-0.8MPa
十三、 水冷系统:水温/水压:≦25℃/≧0.25MPA,冷却水流量:≧80L/min
十四、 最大消耗功率:45Kw
十五、 设备外形尺寸:3580X3000X2450
十六、 设备总重量:2500KG