| 型号 | LCD-70-TEG | LCD-100-TEG |
| 外形 | 2500mm长*2000mm宽*2500mm高 | 3800mm长*2500mm宽*2500mm高 |
| 重量 | 约9700KG | 约14200KG |
| 电力需求 | 380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max |
| 可测试液晶屏尺寸 | 长宽≤1600 * 1100 mm(W x D) , 厚度≤3mm | 长宽≤2400 * 1400 mm(W x D) , 厚度≤3mm |
| 平台功能 | Gantry结构 | 龙门式 |
| X-Y-Z轴运动行程 | 1600 * 1100 *58mm | 2400 * 1400 *58mm |
| X-Y运动速度 | 0~400mm/s可调 |
| X-Y精度(最小移动量) | 0.1um |
| X-Y重复定位精度 | ±5um |
| X-Y 轴驱动 | 直线电机+光栅尺 |
| Z 运动速度 | 0~2mm/s可调 |
| Z精度 | 0.25um |
| Z重复定位精度 | ±1um |
| Z轴驱动 | 伺服电机+光栅尺 |
| Z轴保护 | 电机保护+机械限位保护 |
| 样品台平整度 | 25um平整度 (检测方法：显微镜等焦面测试法) |
| 样品台涂层 | 防静电涂层 |
| 样品台高低温 | Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃) |
| 光学特性 | 光路系统倍率： | 5X ,10X ,20X，50X Objects ，放大倍率范围50X~ 500X |
| 聚焦 | 自动聚焦 |
| CCD | 200/500万像素工业相机 |
| 光源 | 面背光、点背光、上光源 |
| 光源亮度独立可调，面背光可选择分区控制 |
| 激光特性 | 激光系统 | 激光切割系统（2.2mj/Pluse Maximum@50Hz) |
| 0-100% |
| 激光波长 | 1064nm，532nm，355nm |
| 光斑尺度 | 0.8~1.5um @100X object |
| 1.0~3.0um @50X object |
| 工作模式 | One Shot/Burst/Continue |
| 形状 | 可调节的矩形 |
| 探针规格 | 针卡 | 两套，可同时测试两个patten |
| Pitch范围：定制 |
| 探针材质：钨or铍铜等 |
| 工作模式：可以单独测试，或者两个针卡一起测试。两个针卡间的相互距离可调。 |
| 探针和TEG对位方式 | 坐标定位 |
| 测试过程中的二次视觉自动校准 |
| 探针和TEG的接触方式 | 自动接触 |
| 探针自动保护功能:机械限位，可以根据panel厚度设定限位高度，也可以按探针接触样品测试Pad时发生的形变，设备通过探针形变情况，从而确定压入量。 |
| 探针轴旋转行程 | 360° |
| 探针旋转精度 | 0.01° |
| 旋转重复定位精度 | 0.03° |
| 探针清洁 | 自动清洁 |
| 清洁后视觉自动判断 |
| 探针台漏电精度（安装针卡的情况） | 100fA 以内（测试标准：给针卡任意针脚加压-5V~+5V，在不吹N2的情况下，空载测试漏电流<100fA） |
| 吹氮气N2辅助干燥(Recipe 可以设置是否开启，且测试报告体现开N2与不开N2区别) |
| 测试能力 | 测试系统 | 两套 |
| 半导体参数测试系统 2*HRSMU+4*MPSMU+CV 测试单元等 |
| TFT测试项目 | Ion |
| Ioff |
| Vth |
| Mobility |
| Swing |
| Resistance测试项目 | Rs |
| Rc |
| 其他客户需要的项目 | options |
| 最大输送电压 | +-200V |
| 最大输送电流 | +-1A |
| 电流测试分辨率 | 1fA（无需前置放大器） |
| 电压测试分辨率 | 0.5uV |
| CV 测试频率范围 | 1kHz~5MHz |
| 接地单元电流宿能力 | 4.2A GNDU |
| 控制 | 工作模式 | 自动测试，实现数据的自动导入和输出，联机通讯 |
| 手动或者半自动测试 |
| 上下片 | 机械手或者流水线 |
| CIM系统 | 有 |
| 减震 | 主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动 |
| 工业PC | 23寸显示器&电脑：i7 处理器，1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G独立显卡，DVD-ROM |
| 通讯接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 |
| 安全 | 整机带屏蔽罩，操作人员在屏蔽罩外操作 |
| 紧急开关EMO |
| 限位sensor，运动平台和探针系统限位互锁 |
| Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选) |
| SEMISHARE TEG Prober应用 | TFT-LCD Panel TEG 探针测试，OLED Panel TEG探针测试 |
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