裕隆时代LJ-18M磁控离子溅射仪磁控溅射仪
裕隆时代LJ-18M磁控离子溅射仪磁控溅射仪，是专用于高倍扫描电镜（SEM）图像和电极制备的金属镀膜系统，成膜精细致密，能够很好的提高电镜观测效果。 主要用途： 制备金、铂、银、铜、锡、锌、铟、锑等金属薄膜
LJ-18M磁控离子溅射仪磁控溅射仪
技术特点：
配置高质量真空系统和微调阀，结合自动控制电路，预置工作真空和电流，不用反复调节，
操作极为简洁。可自选所需电离气体（氩气，空气），以获得理想的镀膜效果。
棱角成型工艺制成高强度真空玻璃罩，防止轻易磕碰损伤及边缘“崩边”。
标配Ф57mm X 0.12mm大尺寸铂靶，溅射范围更大，靶材使用时间更长。
铝制机箱，机身小巧，坚实美观。模块化设计，便于安装及检修。
LJ-18M磁控离子溅射仪磁控溅射仪
仪器参数
1.1溅射靶头：平面磁控靶头
1.2溅射电流：0-100mA
1.3玻璃处理室： Ф 125mm x 130mm
1.4试样台尺寸： Ф 40mm，可同时放6个样品台
1.5靶材尺寸： Ф57mm X 0.12mm
1.6真空系统： 直联旋片真空泵，2L/S
1.7真空保护： 20Pa，配有微量气体调节阀控制工作真空
1.8工作电源： 220 VAC 50Hz
1.9定时开关： 控制溅射时间，范围10～110S。
1.9可用靶材： 铂靶（标准配置），金靶，铜靶，银靶等
1.10工作气体： 空气或氩气
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