产品介绍
作为德国POINT ELECTRONIC (PE)公司国内区总代理,裕隆时代向用户提供专业的的EBAC-RCI电子束吸收电流电性失效分析系统。
EBAC-RCI电子束吸收电流电性失效分析系统,能够方便快速的定位半导体芯片电路中的短路及失效点位置,不但可以对同层电路,而且可以对次表层,甚至表层下第三层、第四层电路进行失效点的精确定位,因此能够对半导体芯片电路或相关材料进行快速准确的失效分析。
随着技术进步,集成电路芯片设计越来越复杂,关键尺寸和金属连线线宽越来越小,传统的失效点定位方法,如微光显微镜或光束又到电阻变化鞥,由于其分辨率不足,导致不能精确地定位电路故障点位置,电压衬度方法虽然在一些开路短路失效分析中能快速地定位失效点,但只是局限于电路同层分析。
EBAC-RCI电子束吸收电流电性失效分析系统是基于扫描电镜的分析系统,在保留扫描电镜高分辨率的前提下,能够对同层芯片电路进行高精确定位,同时能够对次表层甚至表面下第三、第四层电路进行失效点定位,因此越来越多的应用于先进制程芯片的失效分析。在涉及多层金属层的失效定位分析时,EBAC/RCI方法更加简便精确,可确保分析的成功率,并缩短分析周期。
EBAC-RCI电子束吸收电流电性失效分析系统。
高分辨率下表征样品连接处的性能
直观展示亚微米平面分辨率下的电路网络集成和从电性失效分析(EFA)到物性失效分析(PFA)的桥接
诊断电路结构和其他长期课题,包括电路污染、金属花斑缺陷(pattering defects),电阻互联板(resistive interconnectors)或者电迁移(electro-migration)
直接辨别电路缺陷到具体某一层和失效的具体位置,迅速改进从而快速提生产品质量
通过电压对比,找到隐藏的样品缺陷
发现允许电荷穿过连接器的低抗阻
进行半导体硅基底相连接部分的结构分析
对大型金属结构特性进行分析
EBAC-RCI电子束吸收电流电性失效分析系统。
售后服务
裕隆时代拥有一支涉及众多领域高素质的应用支持团队,向客户提供完整的实验室解决方案和良好的售后服务。
我们承诺24小时内对客户需求做出反应。
专业勤奋的销售队伍,随时为您提供咨询服务。
经验丰富的应用队伍,为您答疑解惑,拓展您的应用领域,提升客户应用水平。
勤勉敬业的售后团队,向您提供专业及时的售后服务,解决您的后顾之忧。
裕隆时代,愿和您一起携手,共创美好未来!