产品介绍
Pfeiffer普发涡轮分子泵组
Hicube 系列移动式真空泵组在业界设立了新的标准：zui新系列的HiPace涡轮分子泵和根据客户应用需求可选的前级泵系列wan美结合。 Hicube 真空泵组系列主要分为Hicube ECO（经济型）、Hicube Classic、Hicube Pro三种真空泵组。真空泵组可选择干泵或旋片泵作为前级泵，极限真空度可达 5 * 10-10mbar。针对特别有限的空间要求，Hicube 真空泵组中还特别提供尺寸非常紧凑的 HicubeEco经济型泵组，其抽速范围从 35 l/s 至 67 l/s。
根据HiPace 涡轮分子泵选择的不同，HiCube真空泵组还可以分为HiCube 80真空泵组系列、HiCube 300真空泵组系列、HiCube 400真空泵组系列、HiCube 700真空泵组系列。
you势：
涡轮分子泵和前级泵的wan美结合；适合多种应用需求；
模块化设计原则满足客户多种应用需求；各部件配合简便，易于保养维修；
集成的驱动系统，不用额外的控制系统；“即插即用”-不用布线和安装；
意外断电时，前级真空安全阀（可选.）可保护真空腔体免受返流影响；
可以直接连接真空计
应用：
研发
加速器
分析和表面物理学
真空工艺技术
一般真空应用
Pfeiffer Hicube真空泵组产品分类：
德国普发 Pfeiffer Hicube ECO真空泵：紧凑的设计和高性能使得Hicube ECO真空泵组为许多应用提供了理想的解决方案；适用于所有的高真空应用；配备了HiPace 80 涡轮分子泵和MVP 015干式隔膜前级泵；
德国普发 Pfeiffer HiCube Classic 真空泵组：适用于所有的高真空和超高真空应用；抽速高达685 l/s，可配备干泵和油封前级真空泵。可选择抽速高达4.3 m3/h的干式隔膜前级泵或抽速高达6 m3/h的旋片泵作为前级真空泵；
德国普发 Pfeiffer HiCube Pro 真空泵组：适用于所有的高真空应用；抽速高达685 l/s，可配备干泵和油封前级泵；它的特性是具有极高的抽速；可选择PentaLine旋片泵和ACP多级罗茨泵作为前级泵；
以上真空泵组 Hicube ECO（经济型）、Hicube Classic、Hicube Pro均可按客户需要选配显示控制单元。
Hicube真空泵组型号参数汇表：
参数 型号 | 连接法兰 | 抽速L/S | 极限真空mbar | 前级泵抽速m3/h |
入口 | N2 |
Hicube 80 Eco | KF40 | 35 | 10-7 | 15L/min |
Hicube 80 Eco | ISO-K 63 | 67 | 10-7 | 15/min |
Hicube 80 Eco | CF63 | 67 | 10-7 | 15L/min |
Classic | 法兰连接 | 抽速L/S | 极限真空mbar | 前级泵抽速m3/h |
入口 | N2 | MVP040 | MVP070 | DUO 3 | DUO5M | MVP040 | MVP070 | DUO 3 | DUO5M |
Hicube 80 Classic | KF40 | 35 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 |
Hicube 80 Classic | ISO-K 63 | 67 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 |
Hicube 80 Classic | CF63 | 67 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 |
Hicube 300 Classic | ISO-K100 | 260 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 |
Hicube 300 Classic | CF100 | 260 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 |
Hicube 400 Classic | ISO-K100 | 355 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 |
Hicube 400 Classic | CF100 | 355 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 |
Hicube 700 Classic | ISO-K160 | 685 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 |
Hicube 700 Classic | CF160 | 685 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 |
Pro | 法兰连接 | 抽速L/S | 极限真空mbar | 前级泵抽速m3/h |
入口 | N2 | ACP | Duo | Pascal | ACP | Duo | Pascal |
Hicube 80 Pro | KF40 | 35 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 |
Hicube 80 Pro | ISO-K 63 | 67 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 |
Hicube 80 Pro | CF63 | 67 | 5*10-10 | 14/27 | 9/20 | 9/18 |
Hicube 300 Pro | ISO-K100 | 260 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 |
Hicube 300 Pro | CF100 | 260 | 5*10-10 | 14/27 | 9/20 | 9/18 |
Hicube 400 Pro | ISO-K100 | 355 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 |
Hicube 400 Pro | CF100 | 355 | 5*10-10 | 14/27 | 9/20 | 9/18 |
Hicube 700 Pro | ISO-K160 | 685 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 |
Hicube 700 Pro | CF160 | 685 | 5*10-10 | 14/27 | 9/20 | 9/18 |
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