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产品介绍

水户电工_MBE装置MBE-260

水户电工_MBE装置MBE-260概要：

水户电工MBE设备是超高真空装置，可以用从外部引入的激光在真空中激发，并将材料沉积在衬底上。

水户电工_MBE装置MBE-260规格参数：  

Configure                                                                                                    Spec

Processing room 

and vacuum exhaust system                   Chamber Sharpφ260mm               Spherical SUS

                                                              Reaching vacuum                          Less than6.7×10-7Pa (5×10-9Torr)

                                                              Ceramic bearing 

                                                              turbo pump                                   250L/s

Target revolution unit                             φ20mm×6 axes

                                                              Rotation / revolution motor drive (PC control)

Substrate heating unit                            Infrared lamp substrate heating unit (can be changed to semiconductor 

                                                              laser substrate heating unit)

                                                              Size of substrate                            10mm

                                                              Maximum                                      

                                                              heating  temperature                     Above 800℃

Common specification                            Power supply / control rack (JIS standard compliant) integrated chamber frame

                                                              PLD automatic control system (PC and control software)

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