来宝网移动站

产品介绍

切割机8230_ADT全自动双轴12寸

ADT切割机8230是一款高精度、高性能、低成本的双轴(对向)全自动晶圆切割机。切割工件尺寸可达12英寸。

ADT全自动双轴12寸切割机8230特点：

· 灵活性-支持3英寸刀片；

· 支持1.8KW或2.2KW大功率主轴(适用于更高要求的切割)；

· 使用17英寸触摸显示屏，操作界面直观；

全自动双轴12寸切割机8230其它重要特点

· 切割效率高-大幅降低使用成本；

· 空气主轴；

· 快速自动对齐及切割定位，提高切割效率；

· 高精度的自动刀痕检测及切割质量分析；

· 切割过程数据记录和统计分析；

· 更换刀片时锁定主轴，操作更快速、简便；

· SECS/GEM通信标准；

· 机器维护时可触及系统的任何区域，带来维护的便利性；

ADT 8230全自动双轴12寸切割机规格：

MAX工作盘尺寸                φ300mm

X轴     切割范围                310mm

          进刀速度输入范围0.1-600mm/s

Y1&Y2轴   切割范围                310mm

                 单步步进量0.0001mm

                 定位精度                Within 0.002/310 mm

　                               （Single step accuracy）within 0.002/5

Z轴     行程                30mm（对应2英寸刀片）

          移动分辨率                0.0001mm

          重复精度                0.001mm

θ轴     旋转角度                380deg

主轴    主轴类型                对向式双主轴

          额定扭矩                0.33（1.8kw）N.m

          回转速                6,000 ～60,000(1.8KW)min-1

刀片尺寸                                2"

视觉系统                                1倍和8倍高清光学相机 相机光源：LED（直光 & 斜光）

尺寸（W×D×H）                1220 × 1550 × 1850 mm

重量                                Approx 2000kg

切割机8230_ADT全自动双轴12寸相关产品：

衡鹏供应

ADT 7220系列单轴晶圆划片机

ADT 8020系列双轴晶圆切割机

ADT 7134切割机