产品介绍
介绍：M-Spin 200匀胶旋涂仪是用于均匀涂覆和干燥晶圆片或衬底。该匀胶旋涂仪适用于直径最大为8英寸的晶圆片，或最大为6英寸 x 6英寸的衬底。它可使用分配臂全自动工作，分配移动托盘，可定义数量。该匀胶旋涂仪配备了顶盖的联锁机制，和可视化全图形触摸面板。M-Spin 200匀胶旋涂仪包含一个内置模块，该模块连接到柔性电缆，外接到一个19英寸外部控件上。
产品参数：
可处理衬底尺寸：直径最大为8英寸的晶圆片，或最大为6英寸 x 6英寸的衬底；
旋转速度：最高达9,000 rpm（以1 rpm步长可调）；
固定晶圆片或衬底的装置：真空托盘；
处理时间：（1-999秒，可在1秒内调整）；
加速度：1-5,000rmp/sec；
其他参数：20个程序段，每个40步
设备尺寸：约 480mmx 360mm x 416mm(不带盖子)
控制器尺寸：约 145mmx 100mm x 120mm
来宝会员