Ossila紫外臭氧清洗机OSSILA小型紫外臭氧清洗机E511
应用工艺：
?改善表面亲水性
?表面清洗
?准备薄膜沉积
?表面处理
?紫外固化
?表面灭菌消毒
?去除表面单分子膜
?表面氧化
?清洗AFM / STM探针
?清洗光学元件
OSSILA小型紫外臭氧清洗机E511
可清洗的基材示例：
?石英
?硅
?氧化硅
?氮化硅
?金
?镍
?铝
?砷化镓
?矾土
?玻璃
?不锈钢
OSSILA小型紫外臭氧清洗机E511
可去除的污染物示例：
?光刻胶
?树脂
?人体皮肤油脂
?清洗溶剂的残留物
?塑料/硅片表面油渍
?助焊剂
产品特点：
?成本低；
?120x120mm样品台；
?最大处理样品高度为14mm；
?抽屉式样品台，简单方便；
?样品台自安全联锁，防止对人身伤害；
?LCD屏显示“已用时间”和“剩余时间”；
?60分钟计时器；
?高强度紫外线灯源；
?可控温的样品台；
?样品清洗无需溶剂；
?超净表面。
OSSILA小型紫外臭氧清洗机E511
产品参数：OSSILA小型紫外臭氧清洗机E511
紫外灯类型 | 合成石英紫外灯 |
紫外灯主要波长 | 185 nm 和 254 nm |
UV灯管尺寸 | 100 mm x 100 mm |
UV灯电源 | 4000 V, 30 mA |
UV灯使用寿命 | T80（2000小时）; 8 - 10年的标准日常使用 |
适用电压 | 230 V, 0.6 A , 50 Hz // opt. ( 110 V, 1.2 A, 60 Hz ) |
最大运行时间 | 59分59秒 |
安全特点 | 安全联锁，高温报警，高温断电 |
托盘尺寸 | 120 mm x 120 mm |
样品最大尺寸 | 100 mm x 100 mm |
总尺寸 | 宽 204 mm，高 227 mm，长 300 mm |
下图显示了UV臭氧处理对基材的影响，以改善表面亲水性。OSSILA小型紫外臭氧清洗机E511
水滴在OTS处理的硅基底(300纳米二氧化硅表面)上，经过紫外臭氧清洗处理前（左图）和处理后（右图）的效果对比。
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