产品介绍
产品特色
备有多种光学路径长度的气体腔（1cm～10m），可轻松更换，支持不同样品。
除各种光长度的气体腔，另备有1cm+4.2m的组合式双气体腔。以简单的切换操作，可在浓度差异极大的环境进行量测。
配备标准的高感度、高反应常温DLaTGS检测器。无须液态氮，即可在低波数领域到高波数领域之间进行量测。
温度压力补正、温度变化图、光谱解析、多国语显示等，并配备有危险警示等功能齐全的人性化软件。
内建标准气体数据库。可高速且高精度进行定性、定量解析，并依照需求随时可提供数据库的更新。
可搭载台车以移动方式监控，也可与配管搭配连结多点监控尾气处理设备的效率评价。
单点7秒间隔的高速量测，同时解析约20种不同成分气体
测量项目
定性、定量分析
光谱分析
应用范围
半导体、光电产业研发&制程，微机电系统（MEMS）
计算从制程中所释放出的PFCs（Perfluoro compounds）气体的分解效率及排出量
尾气处理设备的效能评价
多成分气体的实时监控
分析腐蚀性气体中的微量水分及微杂质成份
规格样式
检测器 液态氮冷却型MCT检测器 室温DLaTGS检测器 电子冷却型InAs
量测波数范围 600 ~ 5000 cm-1 600 ~ 5000 cm-1 3500 ~ 5000 cm-1
干涉仪 迈克森干涉仪（Michelson Interferometer）
解析能力 0.5 ~ 32 cm-1
真空功能 无
气体腔规格 可换式
气体腔光长度 1cm, 10cm, 2m, 4.2m, 10m
尺寸* 460（W）×460（D）×478（H）mm
重量* 约30kg
*未包含气体腔部份
测量实例
C2F6气体在CVD真空槽内的洁净效率
选配附件
气体腔 （1cm,10cm,2m,4.2m,10m）
组合式双气体腔 （1cm+4.2m）
压力转换器
气体腔增温器
气体腔封盖
局部排气箱
进排气切换组件
真空帮浦（IG-1000V用）
隔膜帮浦
来宝会员