产品介绍
反射式膜厚测量仪
类型 薄膜测厚仪
品牌 OTSUKA
型号 FE-3000
测量范围 1nm-250μm（mm）
外形尺寸 481（H）×770（D）×714（W）（主体部分）（mm）
产品特点
紫外到近红外光领域的反射光谱，最适用于多层膜量测、光学常数分析的光干涉式膜厚仪。
以光为量测媒介，非接触式、不破坏样品的高精度再现性。
190nm~1600nm的大范围波长解析。
1nm~250μm薄膜到厚膜的全般对应。
可对应显微镜下的微小量测范围。
测量项目
绝对反射率分析
多层膜解析
光学常数解析（n:屈折率，k:衰减系数）
应用范围
平面显示器
液晶显示器、薄膜晶体管、OLED
半导体、化合物半导体
硅半导体、半导体雷射、强诱电、介电常数材料
数据储存
DVD、录像机读取头薄膜、磁性材料
光学材料
滤光板、抗反射膜
平面显示器
液晶显示器、薄膜晶体管、OLED
薄膜
抗反射膜
其它
建筑用材料
规格
标准型 厚膜对应型
膜厚量测范围 1 nm ~ 40 μm 0.8 ~ 250 μm
波长量测范围 190 ~ 1600 nm 750 ~ 850 nm
感光组件 光电二极管数组 512ch 矩阵型CCD影像传感器 512ch
光源规格 D2/I2（紫外-可视光）、D2（紫外光）、I2（可视光）I2（可视光）
电源规格 AC100V±10V 750VA（自动平台驱动部分）
尺寸 481（H）×770（D）×714（W）mm（主体部分）
重量 约96kg（主体部分）
测量实例
玻璃上的二氧化钛膜厚、膜质分析
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