产品介绍
★3D激光扫描显微镜OLS5100概述：
▲智能工作流程，更快地完成实验
OLS5100激光显微镜专为失效分析和材料工程研究而设计，将测量精度和光学性能与智能工具相结合，使显微镜使用起来更加方便。 它可以快速完成亚微米级形貌和表面粗糙度的测量，简化了工作流程，还能提供值得信赖的数据。
▲测量准确度
LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。 与Smart Lens Advisor（智能镜头顾问）配合使用，可以获得值得信赖的准确数据。
·10倍至100倍物镜可减少405 nm波长的像差，在整个视场中捕捉样品的真实形貌。
·Smart Lens Advisor（智能镜头顾问）有助于为粗糙度测量选择合适的物镜
▲易于操作的激光扫描显微镜
通过精心设计的软件，新手和有经验的用户都可以使用显微镜。
·获取准确数据：将样品放在载物台上，然后按下“开始”按钮即可
·在客户的实验环境下也能提供测试结果*。
本网页上的信息（包括准确度）均基于Evident设定的条件。
▲材料工程和失效分析实验更简单
智能实验管理器可将以前耗时的任务自动化，使亚微米级3D观察和失效分析实验工作流程变得更加简单。
·利用宏功能实现分析工作流程的自动化
·测量数据易于整理
·将数据自动填充到实验计划矩阵中，减少了输入错误的几率
·测量结果以列表形式显示，一眼就能做出通过/不通过的判断。
★3D激光扫描显微镜OLS5100特点：
▲亚微米级3D观察/测量
观察纳米范围内的台阶，测量亚微米级的高度差。
▲符合ISO25178标准的表面粗糙度测量
可测量从线到面的表面粗糙度
▲无接触、无损、快捷
一般不需要特殊制备，只需将样品放在载物台上即可开始测量。
★3D激光扫描显微镜OLS5100参考规格：
主机规格
| OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF |
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54x ～ 17280x |
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16 μm ～ 5,120 μm |
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| 光学系统 | 反射型共聚焦激光扫描（激光）显微镜
反射型共聚焦激光扫描（激光-DIC）显微镜
彩色
彩色-DIC |
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| 光接收元件 | 激光：光电倍增管（2通道）
彩色：CMOS彩色相机 |
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| 显示分辨率 | 0.5 nm |
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| 动态范围 | 16位 |
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| 可重复性σn-1*1 *2 *5 | 5X：0.45μm，10X：0.1μm，20X：0.03μm，50X：0.012μm，100X：0.012μm |
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| 准确度 *1 *3 *5 | 0.15 + L/100 μm（L：测量长度[μm]） |
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| 拼接图像准确度 *1 *3 *5 | 10X：5.0+L/100 μm；20X或更·高：1.0+L/100 μm（L：拼接长度[μm]） |
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| 测量噪声（Sq噪声） *1 *4 *5 | 1 nm（典型值） |
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| 显示分辨率 | 1 nm |
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| 可重复性3σn-1 *1 *2 *5 | 5X：0.4μm，10X：0.2μm，20X：0.05μm，50X：0.04μm，100X：0.02μm |
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| 准确度 *1 *3 *5 | 测量值+/- 1.5% |
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| 拼接图像准确度 *1 *3 *5 | 10X：24+0.5L μm；20X：15+0.5L μm；50X：9+0.5L μm；100X: 7+0.5L μm（L：拼接长度[mm]） |
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4096 × 4096像素 |
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3600万像素 |
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| 长度测量模块 | ? | 不适用 | 不适用 | ? |
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| 工作范围 | 100 × 100 mm电 | 100 × 100 mm 手 | 300 × 300 mm 电 | 100 × 100 mm 电 |
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100 mm | 40 mm | 37 mm | 210 mm |
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| 波长 | 405 nm |
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| 大输出 | 0.95 mW |
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| 激光分类 | 2类（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014*6 |
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| 白光LED灯 |
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| 240 W | 240 W | 278 W | 240 W |
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| 显微镜主体 | 约重31 kg | 约重32 kg | 约重50 kg | 约重43 kg |
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| 控制盒 | 约重12 kg |
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*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境中使用时可达到规格要求（温度：20℃±1℃，湿度：50％±10%）。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物镜且放大倍率为20倍或更·高时。
*3 在使用专用LEXT物镜测量时。
*4 在使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值，可能与展示值不同。
*5 在Evident认 _证体-系下参考。
*6 OLS5100是2类激光产品。请勿盯着光束看。
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