产品介绍
高精度测量；
变角度功能；
全光谱测量功能；
膜厚范围：0-30000nm
折射指数：± 0.0001
厚度准确度：± 0.01nm
入射角度：20 - 90°
波长范围：250-1100nm（深紫外、近红外、红外可选）
Psi=±0.01°，Delta=±0.02°
世界级高精度光谱椭偏仪！
可以精确测量折射指数、消光系数（n&K)，膜厚等，广泛适用于半导体、电介质、聚合物、金属等材料，单层薄膜和多层膜。著名客户包括USArmyResearchLab，NASA，NIST，UCBerkeley，MIT，Harvard，Honeywell和SharpMicroelectronics等；
根据客户需求，可提供不同型号：
变角度单波长椭偏仪（632.8nm）；
变角度多波长椭偏仪（532,632.8,1064nm,…）；
变角度光谱椭偏仪（深紫外、紫外-可见-近红外光谱190-2300nm）；
全自动光谱椭偏仪（深紫外、紫外-可见-近红外光谱190-2300nm）；
红外光谱椭偏仪等；
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