?外部尺寸: W356mm x H540mm x D495mm, 重量:24kg
?耐用的焊接6061 T6铝合金真空腔;
真空腔尺寸:W140mm x H89mm x D179mm
?等离子发生器:功率 max.150w(可调)频率:50kHz
?供气:气体流量控制器 0-25cc/min w/精密针形阀。
?压力测量:热电偶真空计 0-1Torr.
?电源:115VAC,15A 功率:400W 供气:6mm连接件
?控制器:PLC微电脑控制系统。键盘用户界面,数字字母显示器。方案工艺可以进行自动处理。
附件(可选件)
抽气装置:推荐型号:5 CFM 2级 直驱真空油泵
?氧气发生器
?附加第二气体通道。附加第二气体控制器,0-25cc/min
?100w, 13.56Mhz可自动调节射频发生器
升级装置:
?PC /笔记本电脑的控制系统:装载有等离子蚀刻软件的一台笔记本电脑是包括全自动系统操作,
流程排序,多配方存储,以及其他高级功能。
?质量流量控制器:附加质量流量控制器也可提供。
功能:
? 对金属、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有机污染物 (如石蜡、油污、脱膜剂、蛋白等)进行超AA清洗。
? 改变某些材料表面的性能。
? 使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化,加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
? 清除金属材料表面的氧化层。
? 对被清洗物进行消毒、杀菌。