主要特点:
?超小体积,超高精度 低成本、模块化可直接集成
?多维组合机器人(6、13、15维等)
?宇航级极端环境:真空、低温、高加速、高压
?特殊样品室、真空腔等内部安装控制
?闭循环反馈、带刻度高精度系统(1nm)
?微小机械手满足个性化需求
应用领域:
光学研究: 电动光阑、狭缝、滤光片轮、光纤准直、镜片调节
半导体技术: 失效分析、精确准直、光刻、校正与补偿
材料应用: 缺口测量、张力、微小压缩测量、刮痕弯曲等测量
天文、航天航空: 高加速度、低压、低温条件下控制
扫描电镜、光学/原子力显微镜:样品、探测器/光源定位、样品室内操作
同步控制应用: 快速定位、复杂运动系统
度量衡学: 长度测量、厚度测量、坐标测量、位置计量
生命科学和医药: 高压灭菌、断电保护、细胞操纵、注射、计算和排序
自动化控制: 低成本、超小体积、高精度、模块化、直接集成
主要产品:
1. 精密平移台
尺寸:17mmX8.5mm
行程:12-460mm 可选
速度:〉13mm/s
精度1nm 和o.1um 可选
高真空、NM传感器可选
多种规格、尺寸、精度可选
|

|
2、精密旋转台
直径15-90mm可选
高度8.5-21mm可选
最高精度 >3u°
速度:9-30°/s可选
|
 |
3、精密倾斜台
移动精度好于0.8 u°
50mmX50mmX17mm
+/-5度行程
可选的um反馈驱动
可选真空环境
|

|
4、可变小孔光阑
外形尺寸:60X60X13mm3
1-18mm和0.5-7mm孔径
可选的um反馈驱动
可选真空环境
|

|
5、可调镜架
外形尺寸:35、45mm直径
调节范围:+/-2.5、4°
精度:2m°
可选真空环境等
|
 |
6、控制器和软件
1-3维简单控制器,小巧方便
多维模块化控制器功能齐全
可选的计算机控制式操作
USB接口,12V供电
提供计算机控制软件
兼容DLL和提供Labview驱动
|