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精密测量显微镜采用透、反射的方式对工件作三维长度和角度的精密测量仪器。特别适用于几何形状复杂的细小零件、录像磁头、大规模集成电路掩模图形以及其它的精密零件的测定。仪器还可连接CCD电视摄像头作工件的轮廓放大，亦可连接计算机进行数据处理等测量。该仪器兼有目视测量和投影测量，可由测微鼓读数或光栅数显读数，是一种实用、多功能、高精度的小型精密测量仪器。广泛适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。