产品介绍
产地:日本 MX61L是对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号（反射透射兼用），可以应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等，实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台，能应对大型样本。
大型载物台搭载：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圆全面检查(MX61L)
半导体／FPD检查显微镜 MX61L 规格
| 光学系统 |
UIS2光学系统（无限远校正） |
| 机身 |
观察方法 |
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明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 |
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反射/透射 |
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反射/透射 |
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照明装置 |
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机身一体型（明视场，暗视场＋1选件） |
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照明系统 |
反射照明 |
100 W卤素/100 W水银/75 W氙 |
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透射照明 |
纤维光导 |
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对焦单元 |
电动/手动 |
手动 |
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行程 |
32 mm |
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分辨率/微调灵敏度 |
微调旋钮转动1周移动0.1 mm |
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最大样本高度 |
30 mm |
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物镜转换器 |
电动型 |
明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔 |
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手动式 |
- |
| 载物台 |
行程 |
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14×12 英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm（透射照明范围356×284 mm） |
| 观察筒 |
广角视场（视场数22） |
倒置 |
双目/三目观察筒 |
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正像 |
三目观察筒 |
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超宽视场（视场数26.5） |
倒置 |
三目观察筒 |
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正像 |
倾斜三目观察筒 |
| 附件单元 |
DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载 |
| 外形尺寸 |
710（W）×843（D）×507（H）mm（标准组合） |
| 重量 |
51 kg（标准组合） |
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