产品介绍
XM系列超高精度直线电机平台
超高性能的线性阶段提供世界领先的动态性能,能够一致的,可靠的运动行程范围为160毫米至1纳米。创新和结构紧凑, XM系列提供了强大的,可重复的最复杂的轨迹运动与杰出的准确度。精密工程部件和设计,最大限度地减少磨损和电机发热,XM性能最大限度地提高您的运动的长期投资。 XM系列是一个超高性能的解决方案的应用程序,如激光加工,半导体晶片的过程中,传感器测试和校准,超精密组件和其它扫描应用要求良好的动态响应。
特点:
行程:50-350mm
双向重复精度:0.08um
最大速度:300 mm/s
负载能力:100-300 N
最小下降到1纳米的超高性能
