产品介绍
DEKTAK 150 台阶仪主要应用于薄膜厚度测量、物体表面形貌测量、应力测量和平整度等精密测量。其测量原理是通过纪录探针在物体表面的垂直位移,从而达到测量物体表面台阶高度、粗糙度等物理参数的目的。
DEKTAK 150 台阶仪主要包括主机,光学观测系统,控制主机及附件,样品台和探针等附件。其中控制主机包括仪器控制软件、数据通讯附件、视频捕捉附件和数据处理工具等。它是我们仪器最主要的核心部件之一。
详细技术要求及参数:
? 测量重复性 6?,1δ (10000 ? 标准台阶)。
Step height repeatability6 Angstroms, 1 sigma (1,0000 angstrom step).
? 最大扫描长度 55mm,用于测量弯曲度和波度。
Maximum scan length = 55mm, for measuring curvature and waviness.
? 配有快速更换探针附件。
Quick-change stylus removal with stylus coupled to the sensor head magnetically using
kinematic mounts and special stylus removal fixture.
? 低噪音线性 LVDT 传感器,保证 Z 轴方向高分辨率测量。
Linear LVDT sensor for low noise, high resolution Z-axis measurements
? 电磁探针压力调整系统,不管探针在何垂直位置都可保证探针压力不变。
Electromagnetic stylus force adjustment mechanism to ensure stylus force is constant
irrespective of the vertical position of the stylus.
线性扫描——基于精确光学平面的样品台——提供了优越的基线稳定性,消除了几何测量误差。
Linear scan method – precision scan stage with optically flat reference – provides
excellent baseline stability, free of geometric measurement errors.
? 精确 6 英寸样品台(X-Y-Theta 手动定位)
Precision 6” sample stage with manual X-Y-Theta position adjustment
? 台阶检测功能,可自动测试多重台阶。
Step Detection feature for automatically measuring multiple steps
? 彩色摄影镜头(放大倍数 166x 并配有视频图象自动捕捉功能),为报告和演讲提供丰富的图形数据。
Color video camera standard with 166x zoom magnification with video image capture
feature for use in reports and presentations.
? 视频观测功能使探针在整个扫描过程中均处在观察中,保证了扫描数据和视频图象的相互关联。
Video overlay feature where stylus stays in view throughout entire scan. Ensures direct
correlation between scan data and video of sample
? 大于 4 英寸的样品空间可确保大样品的测量。
Up to 4” sample clearance for larger samples
? 多扫描程序具有生成标准统计报告,用以计算标准偏差和平均值等结果。
Multi-scan program recipe capability standard with statistical report generating software
to calculate standard deviation and mean.
? 软件有 30 种分析功能,包括程控数据过滤等,从而得到精确的粗糙度和波度结果。
30 Analytical functions built-in, including programmable cut-off filters for accurate
roughness and waviness calculations
? 低惯性感应器技术的应用可以把探针压力调整到 1mg,从而使出众的表面表征能力
得以实现。
Low inertia sensor technology to allow superior surface tracking with low stylus forces
down to 1 mg.
? 标准垂直测量范围 524um(1 mm可选择)
Standard 524 μm maximum vertical range (1mm optional)
? 数据采样点可达 120,000/扫描
Acquire up to 120,000 data points per scan
? 3/8”厚的环境环境罩, 可消除静电和电磁干扰。
Environmental shield 3/8” thick acrylic cover, ESD resistant
? 操作手册 ( 1本说明书和 1 张光盘) ,可以接受在线帮助
Operation manual (1 printed hard copy and 1 electronic copy on CD) with manual also
available as on-line help
? 符合 CE 标准
CE compliant
联系方式:上海凯悦电子科技有限公司
联系人:钱先生
联系电话:13918209012