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产品介绍

DCA PLD500是先进的脉冲激光沉积系统。该系统具有很强的灵活性，可配置多种选配件进而满足不同用户的需求。
PLD500适用于1~3英寸衬底尺寸，该系统具有高真空和超高真空模式，对于超高真空模式需要配备装载室和烘烤系统。