产品介绍
2路质量流量计500w等离子清洗机KT-S22路质量流量计500w等离子清洗机KT-S22路质量流量计500w等离子清洗机KT-S2
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性
2路质量流量计500w等离子清洗机KT-Z5KQX
供电电源 | AC220V（AC110V可选) |
工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
射频电源功率 | 500W可调 |
射频频率 | 40kHz |
耦合方式 | 电容耦合 |
真空度 | ≤30Pa |
腔体容积 | 5L(内径 152mmX 深度 280mm) |
载物规格 | 125mmX260mm |
气体流量 | 0—50ml/min（其他量程可选） |
气体路数 | 2 路质量流量计+精密流量控制阀 |
过程控制 | 自动控制 |
清洗时间 | 手动开关 |
开盖方式 | 铰链侧开式法兰 |
真空室温度 | 小于65°C |
外形尺寸 | 450x450x250mm |
冷却方式 | 强制风冷 |
标配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本，机械泵一台 |
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