产品介绍
合创鸿业向用户提供基于EBIC电子束感生电流技术和EBAC电子束吸收电流分析技术的EFA电性失效分析系统。
对样品中的开路、有阻值或者短路缺陷进行准确定位
可在在很薄的绝缘体层中确定缺陷位置
在彻底失效前,直接观测栅极氧化层(GOX)和氧化电容器(COX)中的缺陷,并对其准确定位
亚微米分辨率下,准确定位由静电放电(ESD)和过电应力(EOS)导致的氧化物短路
定位过程中,通过低至nW级的电力损耗,可保护样品的原始缺陷特征
1欧姆精度下,可对低至100欧姆电阻结构制图
敬请联系 北京合创鸿业科技有限公司