产品介绍
·可以自动连续高温处理注入
·1价离子可注入350keV,2价离子可注入700keV(可选择1价离子可注入430keV,2价离子可支持860keV)
·在双端站实现高吞吐量(A系4“高温ESC/B系3”高温ESC、A系6“高温ESC/B系6”常温ESC等,可根据客户的要求构建规格)
·可以进行链条注入,减轻操作员的负荷
·小型设计
·从试作到量产可以广泛对应
青岛泰斯迈仪器设备有限公司是国际一流设备和仪器的综合服务商。公司拥有一支资深行业经验的专业团队,特别是半导体领域和真空领域,为家电,制冷,半导体,汽车,航空,轨道…... 了解更多>>