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        一、比较样块

       将表面粗糙度比较样块根据视觉和触觉与被测表面比较，判断被测表面粗糙度相当于那一数值，或测量其反射光强变化来评定表面粗糙度(见激光测长技术)。样块是一套具有平面或圆柱表面的金属块，表面经磨、车、镗、铣、刨等切削加工，电铸或其他铸造工艺等加工而具有不同的表面粗糙度。有时可直接从工件中选出样品经过测量并评定合格后作为样块。

        优点：利用样块根据视觉和触觉评定表面粗糙度的方法很简便。

        缺点:容易受到主观因素影响，常常不能得出正确的表面粗糙度数值。

         二、光切显微镜

        光线通过狭缝后形成的光带投射到被测表面上，以它与被测表面的交线所形成的轮廓曲线来测量表面粗糙度。由光源射出的光经聚光镜、狭缝、物镜1后，以45°的倾斜角将狭缝投影到被测表面，形成被测表面的截面轮廓图形，然后通过物镜2将此图形放大后投射到分划板上。利用测微目镜和读数鼓轮先读出h值，计算后得到H值。应用此法的表面粗糙度测量工具称为光切显微镜。

        优点：次方法适用于测量RZ和Ry为0.8～100微米的表面粗糙度。

        缺点：需要人工取点，测量效率低。

        三、干涉显微镜

        利用光波干涉原理(见平晶、激光测长技术)将被测表面的形状误差以干涉条纹图形显示出来，并利用放大倍数高（可达500倍）的显微镜将这些干涉条纹的微观部分放大后进行测量，以得出被测表面粗糙度。应用此法的表面粗糙度测量工具称为干涉显微镜。

         优点：适用于测量Rz和Ry为0.025～0.8微米的表面粗糙度。

         缺点：测量效率低。

        从上面的方法我们也可以看出，测量工件表面粗糙度的方法有很多，但是粗糙度仪测量范围最广，测量效率也是最高的。