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深紫外全固态激光器，是指激光波长在200nm以下的固体激光器，与同步辐射和气体放电光源相比，其具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。深紫外激光器光源对于现代科技发展非常重要，例如193nm光刻技术、纳米微加工技术、原子和离子的激光冷却技术、以及各种现代化仪器。长期以来，深紫外激光器(<200nm)一直缺乏实用化和精密化，因此制约了深紫外波段科学仪器和前沿科研的发展。

20世纪90年代初，中国科学院开始组织力量研究深紫外非线性光学晶体和激光技术。经过20多年努力，我国科学家在国际上首次实现KBBF晶体倍频输出深紫外激光，并发明棱镜耦合技术，最终开发出实用化的深紫外固态激光器，使中国成为当今世界上唯一掌握深紫外全固态激光技术的国家。基于此项技术，我国科学家已成功研制出深紫外激光拉曼光谱仪、深紫外激光发射电子显微镜等深紫外激光器系统的前沿装备，均为当今世界所独有的科研利器，居深紫外领域国际领先地位。

深紫外固态激光技术的突破为中国新型科学仪器的研发提供了难得机遇。“十二五”规划中，旨在提高我国科学仪器设备自主创新能力，支撑科技创新、服务经济和社会发展的国家重大科学仪器设备开发专项已经启动。这一专项的实施，有望改变我国在高端科研仪器设备大多依靠进口的尴尬局面。


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