试述薄膜电容检测器和微电流检测器的工作原理。
来宝网 2013/11/1点击2033次
关注产品其实最基本的就是关注它的工作原理。而今天我们就薄膜电容检测器和微电流检测器的工作原理进行简单的介绍。
(1)薄膜电容检测器 其工作原理与红外分析仪中的电容微音器相似，将样品气和参比气分别引到薄膜电容器动片两侧，当样品气压力变化时，推动动片产生位移，位移量和电容变化量成比例。电容器中的动片一般采用钛膜制成。
(2)微电流检测器 其检测元件是两个微型热敏电阻，和另外两个辅助电阻组成惠斯通电桥。当有气体流过时，带走部分热量使热敏元件冷却，电阻变化，通过电桥转变成电压信号。
微流量传感器中的热敏元件有两种。一种是薄膜电阻，在硅片或石英片上用超微技术光刻上很细的铂丝制成。这种薄膜电阻平行装配在气路通道中，微气流从其表面通过。另一种是栅状镍丝电阻，简称镍格栅，它是把很细的镍丝编织成栅栏垂直装配于气路通道中，微气流从格栅中间穿过。
微流量检测器体积很小，灵敏度极高，价格也较便宜，因而在分析仪器(如红外、氧分析仪等)中得到越来越广泛的应用。
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