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Nanosurf Nanite B AFM原子力显微镜在LCD,MEMS及半导体行业中的新应用

来宝网 2010/5/7点击2842次



瑞士Nanosurf
Nanosurf Nanite AFM
脚本文件与Nanosurf报告专家分析软件结合的全自动拼接缝合技术特点。LCD面板上的AFM测量作为一个例子,演示如何拼接能够简单高效的得到大尺寸表面区域的高分辨率形貌图像。

高分辨率成像技术例如AFM常常会受制于他们的最大扫描范围。当同时需要AFM高的侧向分辨率和一个大扫描范围时,图像拼接技术是一个解决方案。图像拼接常用于从批量制作的图片中生成一个单一的全景图像。在更先进的操作中,这项技术也能被用于结合批量AFM测量生成单一大图像。因此,大尺寸表面区域的AFM图像,例如1 mm × 1 mm100 μm × 100μm大小,能被简单的得到。

Nanosurf Nanite AFM系统能全自动的测量和拼接所需要的图像。用户仅需要指定单个AFM图像大小和被测量区域的大小。然后AFM会执行好剩余的操作。测量完成后,图像被加载到Nanosurf Report Expert后处理软件中,然后一起被拼接成一个单一图像。这个图像仍然包含所有的精密测量数据,因此能像其他AFM图像一样具有所有的分析功能,包括高度和距离测量,粗糙度计算,颗粒和粒径分析,横截面分析,和3维成像功能。

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